UTM-3301 FW/日本ulvac愛發科/ 真空泵 /數字磁力軸承式渦輪分子泵/UTM-FH / FW系列

DSMRO0030

采用數字5軸控制磁力軸承的復合翼型渦輪分子泵。UTM-FH和UTM-FW采用數字5軸控制磁力軸承，實現高功能，高可靠性，節能通信等優勢。FH系列為高背壓，高壓縮型，輕中間工藝，氫壓縮比提高，FW系列高，大流量型，用于高負荷工藝和中硬工藝請。

特點
通過監視和自診斷功能和通信功能，可以通過數字化對應于集中管理系統。
安裝無耦合系統。通過一個電源的型號更換注冊的泵主體的組合操作是可能的。
安裝了變速系統。通風速度可在25％至100％之間變化。
由于其優異的耐腐蝕表面處理，可以選擇支持特殊的表面處理/內部升溫系統，以進行進一步的硬化處理。（FW系列）
采用破壞性能量吸收結構，高度的設計，減少故障時的設備損壞。
符合CE標準

使用
中硬加工主泵（FW系列）
作為輕?中間過程的主泵（FH系列）
作為各種實驗設備的高至超高真空排空的主泵。

規范
高范圍和大流量型 高背壓和高壓縮型 進氣口法蘭直徑 N 2抽速（L / s）* 1 * 2
- UTM-6300FH VG 500 6300
UTM-3301 FW UTM-3303FH VG 350 3300
UTM - 2300 FW - VG 300 2730
VG 250 2230
ICF 305 2110
UTM - 1400 FW - VG 250 1490
VG 200 1360
ICF 253 1300
UTM-1001 FW UTM-1001FH VG 200 1000
ICF 253 1000
UTM-800 FW UTM-800FH VG 150 810
ICF 203 740
UTM-480 FW UTM-480 FH VG 150 480
ICF 203 480
UTM-350 FW UTM-350FH VG 100 350
ICF 152 330
* 1 根據JVIS005標準測量的值或基于測量值的計算值
* 2 沒有保護絲網的價值

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UTM-3301 FW/日本ulvac愛發科/ 真空泵 /數字磁力軸承式渦輪分子泵/UTM-FH / FW系列

公司名稱 ULVAC公司
ULVAC公司
商標 ULVAC
創建 1952年8月23日
代表： 代表董事兼執行官Iwashita Setsuko總裁
資本 20，873，045，2555日元
員工人數 1,293，合并6,439（截至2018年6月30日）
業務內容 顯示器，太陽能電池，半導體，電子電器，金屬，機械，汽車，化學，食品和制藥工業和真空設備，外圍設備，真空組件，開發，制造，銷售和客戶的載體的材料的大學和實驗室 - 進出口機械設備。此外，一般的真空技術研究指導/技術顧問。


我們的公司，我們成立了進口和各種真空設備的銷售簽署了假設美國NRC設備公司和技術結盟于1952年代理協議的目的?；饡蟮闹饕椖咳缦?。

1952年 八月 成立日本獎勵科技有限公司（資本600萬）進口和銷售各種真空設備。
1955年 四月 成立大森工廠，開始生產國產設備。
1956年 十一月 我們合并了東洋精機真空實驗室有限公司，開始生產標準產品，如真空化學設備和真空泵作為尼崎工廠。
1959年 四月 總公司和大森工廠遷至橫濱市。
1961年 七月 應用真空技術的基礎，開始了真空冶金業務。
1962年 九月 成立真空材料有限公司（商品名改為ULVAC MATERIALS CORPORATION），開始銷售耐火材料。
1962年 十月 真空科學與工程（現為·Advance科學與工程有限公司）成立，是一家專業的熱分析設備制造商
1963年 十月 雖然被合并到新生產業株式會社（1929年9月20日成立），改名為當日公司名稱和ULVAC公司，繼續前ULVAC公司的業務。
1964年 一月 外國分公司信賴部，與美國Reliance Electric and Engineering Co.共同投資成立Japan Reliance Co.，Ltd ..
1964年 七月 成立香港ULVAC有限公司，與香港制造有限公司合資成立。
1966年 四月 分離真空冶金事業部成立真空冶金有限公司
1968年 五月 總公司和橫濱工廠搬遷到茅崎市。
1970年 七月 成立Sanwa ULVAC Sales Co.，Ltd。（商品名改為ULVAC East Japan Co.，Ltd。）為壟斷經銷商。
1971年 七月 真空機械有限公司（現為ULVAC Kiko Co.，Ltd。）是一家專業生產小型真空泵的企業。
1972年 七月 在千葉縣成立新的超級材料研究實驗室。
1975年 十二月 ULVAC北美公司（現為ULVAC Technologies，Inc。）在北美成立，作為出口到美國的基地。
1977年 一月 成立九州ULVAC INC。（現為ULVAC九州株式會社），擴大在九州地區的銷售活動。
1979年 一月 分離服務部門，成立ULVAC服務有限公司 分離SI部門，成立ULVAC Film Deposition Co.，Ltd。
1981年 十月 與美國Helix Technology Corp.共同投資成立ULVAC·CRYO CO。，LTD。
1982年 一月 在臺灣臺北成立ULVAC TAIWAN Co.，Ltd。（現在·ULVAC TAIWAN INC。）。
1982年 十一月 ULVAC·Phi Co.，Ltd。與美國Perkin Elmer公司共同成立。
1982年 十二月 茨城縣筑波科學城（現在筑波市）在市內設立筑波超級材料研究所。
1983年 二月 北京辦事處在中國北京開業。
1985年 三月 我們為核聚變關鍵等離子體實驗設備“JT-60”提供了真空泵系統。
1985年 四月 成立ULVAC SEIKI CO。，LTD作為關西的基地工廠。
1987年 一月 為了加強大型設備的生產系統，在青森縣八戶市建立了東北航空技術株式會社（現ULVAC東北株式會社）。
1987年 二月 在西德成立ULVAC GmbH，以加強歐洲的服務結構。
1987年 五月 成立ULVAC企業中心有限公司，為集團公司提供支持。
1987年 九月 英文公司名稱改為ULVAC Japan，Ltd。
1988年 十月 九州真空技術有限公司在鹿兒島成立，建立了真空泵的批量生產系統。
1990年 五月 為了加強半導體制造設備的生產系統，在靜岡縣Sus野市新設立富士Sus野工廠。
1991年 十二月 九州真空科技有限公司合并了ULVAC SEIKI Co.，Ltd。，更名為ULVAC SEIKIKI CO。，LTD。
1992年 四月 資本金從12.1億日元增加到38.3億日元。
1992年 六月 資本金增加至38.5億日元。
1994年 十月 ULVAC服務有限公司合并ULVAC MATERIALS CO。，LTD。，更名為ULVAC Techno Co.，Ltd。
1995年 五月 在韓國首爾成立ULVAC KOREA，Ltd ..
1995年 九月 與寧波中國機械動力機械集團有限公司合資成立寧波愛知醫用真空技術有限公司。
1996年 十一月 為了擴大真空設備的生產能力，東北航空技術株式會社，Ulvac Kyushu株式會社在鹿兒島工廠增設了清潔工廠。
1998年 一月 新加坡CS中心，臺灣新竹研發中心開業，以擴大亞洲的網絡。
2000 四月 開設臺北五星服務中心。
2000 八月 我們在ULVAC KOREA，Ltd。建立了平澤工廠作為生產工廠。
2001年 五月 在寧波愛知醫用真空技術有限公司新建工廠
2001年 七月 公司名稱改為ULVAC Co.，Ltd。（英文名稱：ULVAC，Inc。）
2001年 十一月 加強客戶支持ULVAC TAIWAN INC。成立桃園CIP工廠。
2002年 一月 成立ULVAC SINGAPORE PTE LTD以加強客戶支持系統。
2002年 七月 ULVAC East Japan Co.，Ltd。合并了Takayama ULVAC CO。，LTD。，將公司名稱更改為ULVAC EIS Co.，Ltd。（現為ULVAC Selling Co.，Ltd。）。
2002年 十二月 收購美國物理電子美國公司擁有的ULVAC·PHI Corporation股份（50％），并成為其全資子公司。
2003 三月 從美國RELIANCE ELECTRIC COMPANY收購Nippon Reliance Co.，Ltd。股份（31％），將其股份增加至81％。
2003 五月 Ulvac Tohoku Co.，Ltd.，ULVAC Techno Co.，Ltd.，UMAT Co.，Ltd。在東北建立了機械加工，表面處理，精密清洗一體化工廠。
2003 七月 成立了真愛科技（蘇州）有限公司，作為中國的一家規模生產廠和一家CS解決方案工廠。
2003 八月 收購Litrex Corporation 50％的股份，Litrex Corporation生產和銷售工業噴墨設備。
2004年 四月 在東京證券交易所第部上市的股票。
它將資本從38.5億日元增加到81億日元。
2004年 五月 它將資本從81億日元增加到89.5億日元。
2004年 七月 成立Ulvac Korea Precision，Ltd。，目的是由ULVAC KOREA，Ltd。和ULVAC Tohoku Co.，Ltd。在韓國共同制造大型基板真空部件。
成立Pure Surface Technology，Ltd。，與ULVAC KOREA，Ltd。和韓國真空冶金有限公司共同進行成膜設備零件的表面處理。
2004年 八月 成立日本倚有限公司，生產控制面板和自動控制驅動器與圣經電商人有限公司的合資企業，愛發科企動力科技銷售（上海）有限公司在中國的目的。
2004年 十二月 資本金從85.5億日元增加到134.68億日元。
2005年 一月 成立ULVAC KIKO有限公司以及在與江蘇寶驪集樂團，成立合資企業真空泵零部件的制造，愛為目的（靖江）有限公司在中國的發病家庭天馬電機銷售。
成立于與沉陽中北真空技術有限公司合資真空爐制造，愛Hatsuka中北真空（沉陽）有限公司出售在中國的目的（目前Aihatsuka真空技術（沉陽）有限公司）。
將成都東方愛知真空吸塵技術有限公司改為子公司，更名為AIST東寶真空（成都）有限公司。
2005年 四月 Vacuum Metallurgical Corporation合并了UMAT Co.，Ltd。，更名為ULVAC Materials Corporation。
為了擴大平板顯示器業務，我們從富士通VS LSI轉移了設備業務。
2005年 六月 為了增加ULVAC KOREA，Ltd。的產量，增加了Kanaya工廠。
ULVAC Kiko Co.，Ltd。在宮崎工廠建立了小型真空泵的評估和驗證可靠性評估中心。
2005年 十一月 收購Litrex Corporation在英國劍橋顯示技術有限公司擁有的股份（50％），并使其成為全資子公司。
成立ULVAC（THAILAND）LTD。在泰國銷售和現場支持。
2005年 十二月 建立和ULVAC臺灣制造公司這樣的平板顯示器制造裝置的制造中，一個超凈PRECISION科技股份有限公司向現場支持類似的部件的機械加工和部件清洗旨在臺。
2006年 三月 成立愛知（中國）投資有限公司，以管理和監督中國子公司。
2006年 四月 在臺灣成立ULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc.，用于制造控制面板等。
2006年 七月 成立ULVAC研究中心KOREA，Ltd。，在韓國進行研發。
在臺灣成立ULVAC研究中心TAIWAN，Inc。進行研發。
2006年 八月 收購Sigma Technos Co.，Ltd。的股份（70％），該公司生產和銷售精密平臺。
成立ULVAC MALAYSIA SDN.BHD。用于馬來西亞的銷售和現場支持。
2006年 九月 新成立的ULVAC TECHNO CORPORATION神奈川縣神崎市真空設備零件表面處理化學中心。
Miyazaki Kiko Co.，Ltd。宮崎工廠被添加到宮崎縣埼玉市，旨在鞏固小型真空泵的生產。
2006年 十一月 愛知縣愛知工廠在春日井市新成立，以擴大平板顯示器制造設備的生產能力。
2007年 六月 成立ULVAC，Inc。印度分公司。擴大印度業務。
2007年 九月 成立Sigma Technos Co.，Ltd?？偛抗S，在埼玉縣日高市制造和銷售大型精密工作臺。
2007年 十一月 箕電商人有限公司，愛Hatsuka箕電科技（上海）有限公司因轉讓控股有限公司Aihatsuka自動化科技（上海）公司名稱變更為股份有限公司。

UTM-3301 FW/日本ulvac愛發科/ 真空泵 /數字磁力軸承式渦輪分子泵/UTM-FH / FW系列